Воздушные фильтры для полупроводниковой промышленности
Прилипание пыли к интегральным схемам может привести к отключениям и коротким замыканиям, а пыль напрямую влияет на выход продукта. Сегодня полупроводниковая промышленность (фабрики микросхем) наиболее требовательна к чистоте воздуха в производственных помещениях, а также предъявляет самые строгие требования к воздушным фильтрам.
Традиционной формой вентиляции на заводе по производству чипов является «большая циркуляция», при которой весь потолок цеха покрыт HEPA-фильтрами, а весь пол представляет собой решетку возврата воздуха. В настоящее время в некоторых цехах на заводах по производству микросхем используются FFU («Фильтрирующие вентиляторы»), которые оснащены собственными вентиляторами, и оба типа с большой циркуляцией и FFU способны обеспечить достаточную чистоту, лишь с некоторыми различиями в управлении работой и потребление энергии.
И HEPA-фильтры, и FFU сканируются и тестируются по отдельности перед отправкой с завода.
Частицы морской соли, переносимые по воздуху, являются заклятым врагом всей электронной промышленности, но пыль морской соли, переносимая по воздуху, содержит относительно крупные частицы, которые можно отфильтровать обычными фильтрами. Прибрежные районы экономически развиты, и некоторые производители электроники предпочитают размещать там свои заводы, что требует немного больше денег на фильтры.
Современная технология фильтрации может снизить концентрацию пыли в чистом помещении практически до нуля, обеспечивая чистоту настолько, насколько вы хотите. Когда ширина линии на чипе составляет всего 0,5 мкм, химические загрязнения в воздухе становятся серьезной угрозой для производства. В результате в системах кондиционирования воздуха на заводах по производству чипов обычно требуются химические фильтры с шириной линий менее 0,5 мкм. Принцип и процесс изготовления химических фильтров не сложен, это фильтр с активированным углем.
Источниками химических загрязнений могут быть: наружный воздух, сам процесс, люди, отделочные материалы. В большинстве случаев проектировщики и персонал объекта не могут сказать, какие типы и концентрации загрязняющих веществ. Поэтому используемые химические фильтры должны обладать как минимум двумя характеристиками: адсорбционными свойствами широкого спектра и достаточным количеством активированного углеродного материала. Адсорбция широкого спектра означает, что он может адсорбировать что угодно, а материалом, который может выполнять эту функцию, является самый распространенный и дешевый гранулированный активированный уголь. Если тип загрязнителя можно определить, активированный угольный материал можно подвергнуть целевой химической обработке для повышения адсорбционной способности конкретных загрязнителей.
Полупроводниковая промышленность не является «бездымной отраслью», как принято считать, и у нее также есть экологические проблемы. Поскольку часто используются новейшие процессы и материалы, некоторые химические вещества используются в больших количествах до того, как будет оценена их безопасность, и малейшая неосторожность может привести к серьезному химическому загрязнению как грунтовых вод, так и воздуха. По соображениям безопасности некоторые компании также используют химические фильтры в своих системах вытяжного воздуха.
